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COMDEL射频电源维修

应用对象包括:刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源   单频射频电源、双频射频电源、直流电源、C静电卡盘电源、自动调谐匹配网络。   ... ...

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